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气动葫芦制动器采用摩擦片式或锥形制动器，断气自锁

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半导体光刻机工件台超精密定位气浮导轨与驱动

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机械密封采用多弹簧均衡布置，确保摩擦副受力均匀，在高温介质中保持稳定密封性能